上期蔡司代理昆山友碩小編講了蔡司掃描電鏡的開(kāi)機步驟，今天就接著(zhù)講一下蔡司掃描電鏡更換樣品的操作步驟。

　　1、裝試樣。

　　在備用樣品座上裝好樣品，并記錄樣品形狀、編號和位置。

　　注意:各樣品觀(guān)察點(diǎn)高度基本一致。確認樣品不會(huì )脫落，并用洗耳球吹一下。

　　2、關(guān)高壓。

　　3、檢查插入式探測器狀態(tài)

　　打開(kāi)TV，將EBSD等插入式探測器拉出。

　　4、放氣。

　　點(diǎn)Vent等待~分鐘。

　　注意:確認Zmove onvent選上，這樣，放氣時(shí)樣品臺會(huì )自動(dòng)下降。

　　5、拉開(kāi)艙門(mén)。

　　注意:拉開(kāi)艙門(mén)前，確認樣品臺已經(jīng)降下來(lái)，周?chē)�探測器處于安全位置。

　　6、更換樣品座

　　注意:抓樣品座時(shí)戴手套，避免碰觸樣品。

　　7、關(guān)上艙門(mén)。

　　注意:艙門(mén)上0圈有時(shí)會(huì )脫落，關(guān)門(mén)時(shí)勿夾到異物。

　　8、抽真空。

　　點(diǎn)擊Pump，等待真空就緒(留意Vacuum面板上真空狀態(tài))。

　　等待過(guò)程中，可先移動(dòng)樣品臺初步定位樣品。

　　9、換樣完成。

　　加高壓，觀(guān)察樣品